Автор(ы): Заглавие: Методы и возможности IN-LINE контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросистем : учебное пособие. Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2023. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие. Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2021. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Современное производство изделий микроэлектроники : [учебное пособие]. Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие. Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2022. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие]. Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019. Полное описание
|