Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Васильев В. Ю. |
| Заглавие: | Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2021 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
физика |
| Ключевые слова: |
диэлектрические пленки тонкие пленки микроэлектроника интегральные микросхемы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ