Информация о ресурсе

Автор(ы):

Васильев В. Ю.

Заглавие:

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2021

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

физика

Ключевые слова:

диэлектрические пленки
тонкие пленки
микроэлектроника
интегральные микросхемы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю.