Информация о ресурсе

Автор(ы):

Васильев В. Ю.

Заглавие:

Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленок : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2025

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электротехника

Ключевые слова:

ИМС
диэлектрики
процессы ХОГФ
методы ХОГФ
предметаллическая изоляция
узлы изоляции

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю.