Информация о ресурсе

Автор(ы):

Васильев В. Ю.

Заглавие:

Методы и возможности IN-LINE контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросистем : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2023

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

ИМС
интегральные микросхемы
тонкопленочные материалы
IN-LINE контроль
производство микросхем
ХОГФ ТП

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю.