Информация о ресурсе

Автор(ы):

Васильев В. Ю.

Заглавие:

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие]

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

физика

Ключевые слова:

строение материи
тонкие пленки
микроэлектроника
неорганические материалы
наноэлектроника

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю.