Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Васильев В. Ю. |
| Заглавие: | Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие] |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
физика |
| Ключевые слова: |
строение материи тонкие пленки микроэлектроника неорганические материалы наноэлектроника |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ