Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Васильев В. Ю.
Заглавие: Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : [учебное пособие]
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: учебные пособия
Предметная область: тонкие пленки (рубрика "физика")
тонкие пленки
физика
физика (рубрика "полупроводники")
микроэлектроника (рубрика "электроника")
микроэлектроника
Ключевые слова: строение материи
тонкие пленки
микроэлектроника
неорганические материалы
наноэлектроника
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: лицензионные договоры не внесены

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: