Автор(ы): | Васильев В. Ю. |
Заглавие: | Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2022 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | учебные пособия |
Предметная область: |
электротехника |
Ключевые слова: |
металлизация тонкие пленки |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю. |