Информация о ресурсе
Автор(ы):
Васильев В. Ю.
Заглавие:
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
: учебное пособие
Выходные данные:
Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2022
Полный текст:
Тип:
учебные пособия
Предметная область:
электротехника
Ключевые слова:
металлизация
тонкие пленки
тонкие пленки
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры:
внесен лицензионный договор для автора Васильев В.Ю.