Автор(ы): Заглавие: Моделирование и разработка режима окисления кремния для формирования знаков для фотолитографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2019. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Моделирование и разработка режима окисления кремния для формирования знаков совмещения : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Васильев Владислав Юрьевич. Выходные данные: Новосибирск, 2021. Полное описание
|