Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Соколов М. В. |
| Заглавие: | Моделирование и разработка режима окисления кремния для формирования знаков для фотолитографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2019 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |