Информация о ресурсе

Автор(ы):

Соколов М. В.

Заглавие:

Моделирование и разработка режима окисления кремния для формирования знаков для фотолитографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович

Выходные данные:

Новосибирск, 2019

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

электроника, радиотехника и системы связи

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх