Автор(ы): | Соколов М. В. |
Заглавие: | Моделирование и разработка режима окисления кремния для формирования знаков совмещения : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Васильев Владислав Юрьевич |
Выходные данные: | Новосибирск, 2021 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |