Автор(ы): Заглавие: Разработка процессов ПХТ и ПХО ТЭОС для формирования изолирующих областей ИМС : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Реактивное ионное травление пленок SiO2 и Si3N4 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
|