Автор(ы): | Гуляев Д. В. |
Заглавие: | Разработка процессов ПХТ и ПХО ТЭОС для формирования изолирующих областей ИМС : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич |
Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |