Информация о ресурсе
Автор(ы):
Гуляев Д. В.
Заглавие:
Разработка процессов ПХТ и ПХО ТЭОС для формирования изолирующих областей ИМС
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич
Выходные данные:
Новосибирск, 2018
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
электроника, радиотехника и системы связи
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)