Информация о ресурсе
Автор(ы):
Гуляев Д. В.
Заглавие:
Реактивное ионное травление пленок SiO2 и Si3N4
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович
Выходные данные:
Новосибирск, 2016
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)