Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Гуляев Д. В. |
| Заглавие: | Реактивное ионное травление пленок SiO2 и Si3N4 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2016 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |