Автор(ы): Заглавие: Разработка технологического процесса для изготовления МЭМС акселерометров на установке EVG 620 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Каменская Анна Викторовна. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
|