| Автор(ы): | Облешева Ю. В. |
| Заглавие: | Разработка технологического процесса для изготовления МЭМС акселерометров на установке EVG 620 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Каменская Анна Викторовна |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2016 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |