Информация о ресурсе
Автор(ы):
Облешева Ю. В.
Заглавие:
Разработка технологического процесса для изготовления МЭМС акселерометров на установке EVG 620
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Каменская Анна Викторовна
Выходные данные:
Новосибирск, 2016
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
электроника, радиотехника и системы связи
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)