Автор(ы): | Облешева Ю. В. |
Заглавие: | Разработка технологического процесса для изготовления МЭМС акселерометров на установке EVG 620 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Каменская Анна Викторовна |
Выходные данные: | Новосибирск, 2016 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |