Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Небошинский С. В. Заглавие: Исследование процесса изготовления интегральной микросхемы 1526ТМ2 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание