Информация о ресурсе
Автор(ы):
Небошинский С. В.
Заглавие:
Исследование процесса изготовления интегральной микросхемы 1526ТМ2
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна
Выходные данные:
Новосибирск, 2017
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)