Автор(ы): | Небошинский С. В. |
Заглавие: | Исследование процесса изготовления интегральной микросхемы 1526ТМ2 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна |
Выходные данные: | Новосибирск, 2017 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |