|
Автор(ы): Заглавие: Внедрение RCA-очистки поверхности кремниевых пластин для снижения окислительных дефектов : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна. Выходные данные: Новосибирск, 2025. Полное описание
|