Информация о ресурсе

Автор(ы):	Назарова П. В.
Заглавие:	Внедрение RCA-очистки поверхности кремниевых пластин для снижения окислительных дефектов : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна
Выходные данные:	Новосибирск, 2025
Полный текст:	перейти / скачать файл
Тип:	выпускные квалификационные работы
Предметная область:	химические технологии
Кафедра/ подразделение-разработчик:	каф. ХХТ (факультет МТФ)

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта:

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 319 61 10, эл. почта:

Новосибирский государственный технический университет