Информация о ресурсе

Автор(ы):

Назарова П. В.

Заглавие:

Внедрение RCA-очистки поверхности кремниевых пластин для снижения окислительных дефектов : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна

Выходные данные:

Новосибирск, 2025

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

химические технологии

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ХХТ (факультет МТФ)

Наверх