Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Парфенова О. Л. Заглавие: Изучение особенностей процесса экспонирования на установке безмасочной фотолитографии µMLA : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Алиев Владимир Шакирович. Выходные данные: Новосибирск, 2023. Полное описание