Информация о ресурсе

Автор(ы):

Парфенова О. Л.

Заглавие:

Изучение особенностей процесса экспонирования на установке безмасочной фотолитографии µMLA : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Алиев Владимир Шакирович

Выходные данные:

Новосибирск, 2023

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

нанотехнологии и наноматериалы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх