Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Парфенова О. Л. |
| Заглавие: | Изучение особенностей процесса экспонирования на установке безмасочной фотолитографии µMLA : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Алиев Владимир Шакирович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2023 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |