Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Журавлев Н. А. Заглавие: Изучение влияния технологических режимов осаждения на свойства альфа-кремния. : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович. Выходные данные: Новосибирск, 2019. Полное описание