| Автор(ы): | Журавлев Н. А. |
| Заглавие: | Изучение влияния технологических режимов осаждения на свойства альфа-кремния. : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2019 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |