|
Автор(ы): Заглавие: Оптимизация процесса жидкостного травления для снижения боковых уходов при обработке слоёв алюминия и оксида кремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна. Выходные данные: Новосибирск, 2025. Полное описание
|