Информация о ресурсе
Автор(ы):
Зенкова М. Г.
Заглавие:
Оптимизация процесса жидкостного травления для снижения боковых уходов при обработке слоёв алюминия и оксида кремния
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна
Выходные данные:
Новосибирск, 2025
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
химические технологии
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ХХТ (факультет МТФ)