| Автор(ы): | Зенкова М. Г. |
| Заглавие: | Оптимизация процесса жидкостного травления для снижения боковых уходов при обработке слоёв алюминия и оксида кремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2025 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
химические технологии |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ХХТ (факультет МТФ) |