Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Нечаева М. В. Заглавие: Исследование технологии изоляции транзисторов глубокими диэлектрическими канавками : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание