Информация о ресурсе

Автор(ы):

Нечаева М. В.

Заглавие:

Исследование технологии изоляции транзисторов глубокими диэлектрическими канавками : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович

Выходные данные:

Новосибирск, 2017

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

нанотехнологии и наноматериалы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх