Работы автора
Найдено ресурсов: 1
Автор(ы): Шальнев М. А.
Заглавие: Исследование режимов плазменного реактивного нанесения и травления для формирования высокоомных резистивных слоев : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович.
Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
Заглавие: Исследование режимов плазменного реактивного нанесения и травления для формирования высокоомных резистивных слоев : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович.
Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
Полный текст: