Автор(ы): Заглавие: Исследование режимов плазменного реактивного нанесения и травления для формирования высокоомных резистивных слоев : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|