НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ЭЛЕКТРОННО-БИБЛИОТЕЧНАЯ СИСТЕМА

Работы автора


Найдено ресурсов: 1

Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы): Шальнев М. А.
Заглавие: Исследование режимов плазменного реактивного нанесения и травления для формирования высокоомных резистивных слоев : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович.
Выходные данные: Новосибирск, 2018.    Полное описание
Наверх