Информация о ресурсе
Автор(ы):
Шальнев М. А.
Заглавие:
Исследование режимов плазменного реактивного нанесения и травления для формирования высокоомных резистивных слоев
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович
Выходные данные:
Новосибирск, 2018
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
электроника, радиотехника и системы связи
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)