Автор(ы): Заглавие: Оптимизация СВЧ – разряда при активации водород-метановой газовой смеси для осаждения алмазных покрытий : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шишкин Андрей Валентинович. Выходные данные: Новосибирск, 2021. Полное описание
|