| Автор(ы): | Чуйкин И. Ю. |
| Заглавие: | Оптимизация СВЧ – разряда при активации водород-метановой газовой смеси для осаждения алмазных покрытий : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шишкин Андрей Валентинович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2021 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. АЭТУ (факультет ФМА) |