Автор(ы): | Чуйкин И. Ю. |
Заглавие: | Оптимизация СВЧ – разряда при активации водород-метановой газовой смеси для осаждения алмазных покрытий : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шишкин Андрей Валентинович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2021 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. АЭТУ (факультет ФМА) |