НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ЭЛЕКТРОННО-БИБЛИОТЕЧНАЯ СИСТЕМА

Работы автора


Найдено ресурсов: 2

Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы): Лавров И. Д.
Заглавие: Исследование влияния ICP N2/H2 плазмы на тонкие пленки SiO2, poly-Si : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна.
Выходные данные: Новосибирск, 2020.    Полное описание
Автор(ы): Лавров И. Д.
Заглавие: Исследование влияния SF6:СF4 ICP-плазмы на параметры структурированного кремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна.
Выходные данные: Новосибирск, 2022.    Полное описание
Наверх