Автор(ы): Заглавие: Исследование влияния ICP N2/H2 плазмы на тонкие пленки SiO2, poly-Si : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна. Выходные данные: Новосибирск, 2020. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Исследование влияния SF6:СF4 ICP-плазмы на параметры структурированного кремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна. Выходные данные: Новосибирск, 2022. Полное описание
|