Информация о ресурсе

Автор(ы):

Лавров И. Д.

Заглавие:

Исследование влияния SF6:СF4 ICP-плазмы на параметры структурированного кремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна

Выходные данные:

Новосибирск, 2022

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

нанотехнологии и наноматериалы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх