Автор(ы): Заглавие: Исследование влияния H2/N2 плазмы на свойства тонких пленок поликремния : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Неизвестный Игорь Георгиевич. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Исследование электрических свойств тонких плёнок поликремния на изоляторе : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Неизвестный Игорь Георгиевич. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
|