Информация о ресурсе
Автор(ы):
Нелюбин И. В.
Заглавие:
Исследование влияния H2/N2 плазмы на свойства тонких пленок поликремния
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Неизвестный Игорь Георгиевич
Выходные данные:
Новосибирск, 2018
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)