Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Кошкарова Е. И. Заглавие: Исследование и моделирование процесса окисления поликремния для микросхем памяти : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание