Автор(ы): | Кошкарова Е. И. |
Заглавие: | Исследование и моделирование процесса окисления поликремния для микросхем памяти : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2017 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |