|
Автор(ы): Заглавие: Оптимизация процессов нанесения и задубливания фоторезиста S1813 для обеспечения адгезии при облучении ионным пучком : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна. Выходные данные: Новосибирск, 2025. Полное описание
|