| Автор(ы): | Ткачук Е. А. |
| Заглавие: | Оптимизация процессов нанесения и задубливания фоторезиста S1813 для обеспечения адгезии при облучении ионным пучком : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Новгородцева Оксана Николаевна |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2025 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
химические технологии |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ХХТ (факультет МТФ) |