Автор(ы): Заглавие: Разработка технологии изготовления массивов подвешенных металлических наномостиков методами штамповой и оптической литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна. Выходные данные: Новосибирск, 2020. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Разработка технологии создания массива активных элементов микро- и наномеханических систем методами штамповой литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|