Автор(ы): | Тумашев В. С. |
Заглавие: | Разработка технологии создания массива активных элементов микро- и наномеханических систем методами штамповой литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна |
Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |