| Автор(ы): | Тумашев В. С. |
| Заглавие: | Разработка технологии создания массива активных элементов микро- и наномеханических систем методами штамповой литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |