Автор(ы): Заглавие: ПХТ резистивного слоя. Исследование процессов реактивного ионного травления материала РС-3710 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Остертак Дмитрий Иванович. Выходные данные: Новосибирск, 2023. Полное описание
|