Информация о ресурсе

Автор(ы):

Горбунов В. М.

Заглавие:

ПХТ резистивного слоя. Исследование процессов реактивного ионного травления материала РС-3710 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Остертак Дмитрий Иванович

Выходные данные:

Новосибирск, 2023

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

нанотехнологии и наноматериалы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх