Автор(ы): Заглавие: Исследование и разработка комплекта тестовых структур с топологическим размером 1-3 мкм : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание
|