| Автор(ы): | Сизова В. К. |
| Заглавие: | Исследование и разработка комплекта тестовых структур с топологическим размером 1-3 мкм : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2017 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |