Информация о ресурсе
Автор(ы):
Сизова В. К.
Заглавие:
Исследование и разработка комплекта тестовых структур с топологическим размером 1-3 мкм
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович
Выходные данные:
Новосибирск, 2017
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)