Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Лапердин В. А. Заглавие: Формирование силицидных контактов на установке магнетронного распыления конвейерного типа : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна. Выходные данные: Новосибирск, 2024. Полное описание