Информация о ресурсе

Автор(ы):

Лапердин В. А.

Заглавие:

Формирование силицидных контактов на установке магнетронного распыления конвейерного типа : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна

Выходные данные:

Новосибирск, 2024

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

электроника, радиотехника и системы связи

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх