Автор(ы): | Лапердин В. А. |
Заглавие: | Формирование силицидных контактов на установке магнетронного распыления конвейерного типа : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Филимонова Нина Ивановна |
Выходные данные: | Новосибирск, 2024 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |