Работы автора
Найдено ресурсов: 1
Автор(ы): Малый А. С.
Заглавие: Разработка процесса эпитаксиального наращивания кремния из трихлорсилана на установке "Эпиквар 121МТМ" : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович.
Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
Заглавие: Разработка процесса эпитаксиального наращивания кремния из трихлорсилана на установке "Эпиквар 121МТМ" : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович.
Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
Полный текст: