НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ЭЛЕКТРОННО-БИБЛИОТЕЧНАЯ СИСТЕМА

Работы автора


Найдено ресурсов: 1

Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы): Малый А. С.
Заглавие: Разработка процесса эпитаксиального наращивания кремния из трихлорсилана на установке "Эпиквар 121МТМ" : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович.
Выходные данные: Новосибирск, 2016.    Полное описание
Наверх