Информация о ресурсе

Автор(ы):

Малый А. С.

Заглавие:

Разработка процесса эпитаксиального наращивания кремния из трихлорсилана на установке "Эпиквар 121МТМ" : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович

Выходные данные:

Новосибирск, 2016

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

электроника, радиотехника и системы связи

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх