Автор(ы): Заглавие: Исследование и разработка процесса реактивного ионного травления многослойных металлических плёнок : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2019. Полное описание
|
||
Автор(ы): Заглавие: Исследование и разработка процессов травления алюминия в технологии прецизионных ИМС : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание
|