Информация о ресурсе
Автор(ы):
Рыжова А. А.
Заглавие:
Исследование и разработка процесса реактивного ионного травления многослойных металлических плёнок
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович
Выходные данные:
Новосибирск, 2019
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
электроника, радиотехника и системы связи
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)